Mini-Plattenfedermanometer
UHP, Nenngrößen 1" und 1,3"
Anwendungen
- Für gasförmige und flüssige, auch aggressive Messstoffe bei höchsten Anforderungen an Reinheit, auch in aggressiver Umgebung
- Halbleiter- und Flat-Panel-Industrie
- Gasverteilungssysteme
- Medizinische Gase
- Hook-up-Applikation
Leistungsmerkmale
- Mechanisches Druckmessgerät mit Plattenfeder
- Kompaktes Design für minimales Totraumvolumen und zur Reduzierung der Bildung und Ansammlung von Partikeln
- Dichtheitsgeprüft mit Helium, Leckrate ≤ 10-9 mbar · l/s
- Elektropolierte messstoffberührte Teile, Oberflächen mit Ra < 0,25 μm (Ra < 10 μin) für Plattenfeder und Messkammer
- Prozessanschlussteile aus elektropoliertem 316L mit Metalldichtscheiben, orbital an Messkammer geschweißt
Beschreibung
Das Mini-Plattenfedermanometer wurde für UHP (Ultra High Purity)-Anwendungen mit beschränktem Platzbedarf entwickelt, wie zum Beispiel kleinere Gas-Stick- und Gas-Box-Zusammenbauten.
Die Nenngrößen 1" und 1,3" sind ideal geeignet für Anwendungen mit gasförmigen, flüssigen und korrosiven Messstoffen bis 160 psi.
Das Mini-Plattenfedermanometer ist dichtheitsgeprüft mit Helium und die Innenteile sind elektropoliert, um Reinheitsstandards optimal zu erfüllen.
Durch diese UHP-Eigenschaften ist das Mini-Plattenfedermanometer für die Halbleiter- und Flat-Panel-Industrie, verschiedene Gasverteilungssysteme und Anwendungen mit medizinischen Gasen geeignet.
Das Mini-Plattenfedermanometer entspricht den SEMATECH- und SEMI-Normen, um die für Ihre Anwendungen erforderliche Qualität optimal sicherzustellen.
