Miniaturowy manometr membranowy
UHP, rozmiary nominalne 1" i 1,3"
Zastosowanie
- Do mediów gazowych i ciekłych, również agresywnych, do wymagających zastosowań o wysokiej czystości, również w agresywnym środowisku.
- Przemysł półprzewodników i płaskich paneli
- Systemy dystrybucji gazu
- Gazy medyczne
- Aplikacja Hook-up
Specjalne właściwości
- Manometr mechaniczny z elementem membranowym
- Kompaktowa konstrukcja zapewniająca minimalną objętość martwą oraz zmniejszone wytwarzanie i uwięzienie cząstek.
- Test szczelności helu, współczynnik wycieku ≤ 10-9 mbar · l/s
- Elektropolerowane części zwilżane, powierzchnie o Ra < 0,25 μm [Ra < 10 μin] dla elementu membrany i komory pomiarowej
- Elementy złącza procesowego z elektropolerowanego 316L z metalową tarczą uszczelniającą, przyspawane orbitalnie do komory pomiarowej
Opis
Miniaturowy manometr membranowy został opracowany do zastosowań o wysokiej czystości i ograniczonych wymaganiach przestrzennych, takich jak mniejsze zintegrowane drążki gazowe i zespoły skrzynek gazowych.
Rozmiary nominalne 1" i 1,3" są idealne do zastosowań z mediami gazowymi, ciekłymi i korozyjnymi do 160 psi.
Miniaturowy manometr membranowy jest testowany pod kątem szczelności helem, a jego elementy wewnętrzne są elektropolerowane w celu optymalnego spełnienia norm czystości.
Dzięki takiej charakterystyce UHP, miniaturowy manometr membranowy jest odpowiedni dla przemysłu półprzewodników i płaskich paneli, różnych systemów dystrybucji gazu, a także zastosowań związanych z gazami medycznymi.
Miniaturowy manometr membranowy jest zgodny z normami SEMATECH i SEMI, aby optymalnie zapewnić jakość wymaganą przez aplikacje.
