Mini manômetro de diafragma
UHP, tamanhos nominais 1" e 1,3"
Aplicações
- Para meios gasosos e líquidos, também agressivos para aplicações exigentes de alta pureza, também em ambientes agressivos
- Indústria de semicondutores e telas planas
- Sistemas de distribuição de gás
- Gases medicinais
- Aplicação Hook-up
Características especiais
- Manômetro mecânico com elemento diafragma
- Design compacto para volume morto mínimo e geração e aprisionamento reduzidos de partículas
- Vazamento de hélio testado, taxa de vazamento ≤ 10-9 mbar · l/s
- Peças molhadas eletropolidas, superfícies com Ra < 0,25 μm [Ra < 10 μin] para elemento diafragma e câmara de medição
- Componentes do conector de processo em 316L eletropolido com disco de vedação de metal, soldado orbitalmente à câmara de medição
Descrição
O minimanômetro de diafragma foi desenvolvido para aplicações de alta pureza com requisitos de espaço limitados, como conjuntos menores de barras de gás integradas e caixas de gás.
Os tamanhos nominais de 1" e 1,3" são ideais para aplicações que envolvem meios gasosos, líquidos e corrosivos de até 160 psi.
O minimanômetro de diafragma é testado contra vazamento de hélio e as partes internas são eletropolidas para atender de maneira ideal aos padrões de pureza.
Com essas características UHP, o mini-medidor de diafragma é adequado para as indústrias de semicondutores e de tela plana, vários sistemas de distribuição de gás, bem como aplicações de gases medicinais.
O minimanômetro de diafragma está em conformidade com os padrões SEMATECH e SEMI para garantir de forma ideal a qualidade que suas aplicações exigem.
