Minikalvopainemittari
UHP, nimelliskoot 1" ja 1,3"
Sovellukset
- Kaasumaisten ja nestemäisten sekä aggresiivisten aineiden mittaus vaativissa puhtaissa sovelluksissa, myös aggressiivisissa ympäristöissä
- Puolijohdeteollisuus ja litteät näyttölaitteet
- Kaasunjakelujärjestelmät
- Lääkekaasut
- Liitossovellukset
Erikoisominaisuudet
- Mekaaninen painemittari, jossa on kalvoelementti
- Kompakti muotoilu, joka vähentää kuollutta tilavuutta ja vähentää hiukkasten muodostumista ja kiinnittymistä
- Helium vuototestattu, vuotonopeus ≤ 10-9 mbar - l/s
- Sähkökiillotetut kostutetut osat, pinnat, joiden Ra-arvo < 0,25 μm [Ra < 10 μin] kalvoelementissä ja mittauskammiossa.
- Prosessiliittimen komponentit sähkökiillotetusta 316L:stä, joissa on metallinen tiivistyslevy, orbitaalihitsattu mittauskammioon
Kuvaus
Minikalvomittari on kehitetty korkeapuhtaisiin sovelluksiin, joissa tilantarve on rajallinen, kuten pienempiin integroituihin kaasutikku- ja kaasulaatikkokokoonpanoihin.
Nimelliskoot 1" ja 1,3" soveltuvat erinomaisesti sovelluksiin, joihin liittyy kaasumaisia, nestemäisiä ja syövyttäviä väliaineita jopa 160 psi:n paineeseen asti.
Minikalvomittari on testattu heliumin vuototestillä, ja sisäosat on sähkökiillotettu, jotta ne täyttävät puhtausvaatimukset mahdollisimman hyvin.
Näiden UHP-ominaisuuksien ansiosta minikalvomittari soveltuu puolijohde- ja litteäpaneeliteollisuuteen, erilaisiin kaasunjakelujärjestelmiin sekä lääketieteellisiin kaasusovelluksiin.
Minikalvomittari on SEMATECH- ja SEMI-standardien mukainen, jotta sovellusten vaatima laatu voidaan varmistaa optimaalisesti.
