Компактный мембранный манометр
Для сверхчистых сред, номинальные размеры 1 дюйм и 1.3 дюйма
Применения
- Для газообразных и жидких агрессивных сред высокой степени чистоты, также для агрессивных условий окружающей среды
- Производство полупроводников и плоских панелей
- Газораспределительные системы
- Медицинские газы
- Трубная обвязка
Особенности
- Механический манометр с мембранным элементом
- Благодаря компактному исполнению обеспечивается минимальный мертвый объем и снижается показатель образования и захвата частиц
- Испытание гелием на утечку, интенсивность утечки ≤ 10-9 мбар · л/с
- Компоненты, контактирующие со средой, обработанные методом электрохимической полировки, поверхности с Ra < 0.25 мкм [Ra < 10 микродюймов] для мембранного элемента и измерительной камеры
- Компоненты технологического разъема из сплава 316L, обработанного методом электрохимической полировки, с металлическим уплотнительным диском, прикрепленным к измерительной камере методом сварки трением с орбитальным движением
Описание
Компактный мембранный манометр разработан для измерения сверхчистых сред в условиях ограниченного пространства, например, более компактные встроенные газовые регуляторы и газосепараторы.
Номинальные размеры 1 дюйм и 1.3 дюйма идеально подходят для применения с газообразными, жидкими и агрессивными средами под давлением до 160 фунт/кв. дюйм.
Компактный мембранный манометр испытан гелием на утечку, а его внутренние компоненты обработаны методом электрохимической полировки в соответствии со стандартами чистоты.
Благодаря характеристикам для измерения сверхчистых сред, данный манометр может использоваться для производства полупроводников и плоских панелей, различных газораспределительных систем, а также для работы с медицинским газом.
Компактный мембранный термометр соответствует стандартам SEMATECH и SEMI, что гарантирует оптимальное качество для вашей сферы применения.
