Manómetro de membrana en miniatura
UHP, Diámetros nominales 1" y 1,3"
Aplicaciones
- Para medios gaseosos, liquidos o agresivos; para aplicaciones que requieren una pureza extremadamente alta, incluso en entornos agresivos
- Industria de semiconductores y pantallas planas
- Sistemas de distribución de gas
- Gases medicinales
- Aplicaciones tipo "hook-up"
Características
- Manómetro mecánico con membrana
- Diseño compacto para volumen mínimo de espacio muerto y para reducir la formación y acumulación de particulas
- Prueba de estanqueidad con helio, tasa de fuga ≤ 10-9 mbar · l/s
- Piezas en contacto con el medio electropulidas, superficies con Ra < 0,25 µm (Ra < 10 µin) para membrana y cámara de medición
- Piezas de conexión a proceso de 316L electropulido con discos de sellado metálicos, soldadas orbitalmente a la cámara de medición
Características
El manómetro de membrana miniatura ha sido desarrollado para aplicaciones UHP (Ultra High Purity) con espacios limitados, como por ejemplo conjuntos pequeños gas-stick o gas-box.
Los diámetros nominales 1" y 1,3" son ideales para aplica-ciones con medios gaseosos, líquidos y corrosivos hasta 160 psi.
Los diámetros de 1" y 1,3" son óptimos para aplicaciones con medios gaseosos, líquidos y corrosivos hasta 160 psi.
El manómetro de membrana miniatura ha sido sometido a una prueba de estanqueidad con helio y las partes interiores han sido electropulidos para cumplir de manera óptima los estándares de pureza.
Gracias a estas características UHP, el manómetro de membrana miniatura está apto para la industria de semi -conductores y paneles planos, diferentes sistemas de distribución de gas y aplicaciones con gases medicinales.
El manómetro de membrana miniatura cumple las normas SEMATECH y SEMI para garantizar de manera óptima la calidad necesaria para sus aplicaciones.
