하이드라 라인
자사의 하이드라 라인 제품군의 압력 측정계는 반도체 산업의 유명 고객들에게 공급되고 있습니다. 본 제품은 공정 설비들과 UHP 화학약품 분배 시스템 분야의 까다로운 요구사항에 맞추어 설계되었습니다.
HYDRA-센서 압력 트랜스듀서는 높은 정확도와 신뢰성, 매우 깨끗한 습식 부품 및 표면을 제공합니다. 모든 유체가 닿는 부품, 세척 조립, 보정, 포장의 과정이 class 100 클린룸에서 이루어집니다.
이중 안전성
특허받은 HYDRA 이중 다이어프램 시스템은 압력센서와 매질을 안전하면서도 믿을 수 있게 분리합니다. HF 또는 HCl 증기와 같은 공정 매체가 동시에 확산되면서 환경으로 방출되어 측정 결과의 왜곡이나 센서 요소의 손상을 방지합니다.
본 제품은 특정 공정의 화학 제품 사용 적합성 인증을 받지 않았습니다.
몇몇 공정에서, 본 제품의 다이어프램 재질은 화학 제품들의 분산을 초래할 수 있습니다.