超高純度流体測定圧力計

HYDRA-Line
本製品はHYDRAシリーズとして、半導体産業を代表する企業の協力で開発しました。プロセス設備の特殊要求やUHPケミカル分配システムに適した製品を目指しております。

HYDRA-Gaugeの圧力ゲージは高精度、 優れた信頼性 、卓越したレベルに清浄された接液部材質、接液面を有しております。

更に、接液部の全部品の製作、洗浄、組立、校正、包装は、class100のグレードのクリーニングルームで行われております。

二重の安全構造
特許を取得したHYDRAダブルダイアフラムシステムは、プロセス媒体から圧力センサーを安全かつ確実に分離することを可能にしています。同時に不正確な測定結果やセンサーエレメントの破損が発生しないよう、HFやHCl蒸気のような拡散するプロセス媒体は周囲に放出されます。

特定の用途によってもたらされる化学的整合性を推測したり意味しているわけでは有りません。HYDRAシリーズ製品の用途の中には、ダイアフラムを通して化学物質の拡散を引き起すものが有ります。