Ultra High Purity-transducer
Met geïntegreerd display en optionele schakelcontacten
Toepassingen
- Halfgeleider-, vlak-beeldscherm- en fotovoltaïsche industrie
- Toevoer van zeer zuiver gas in halfgeleiderproductiesystemen
Bijzondere eigenschappen
- Zeer nauwkeurige drukmeting 0,15 % RSS
- Uitstekende, langdurige stabiliteit
- Onderdrukking en afscherming van signaalruis
- Vacuümgerelateerde drukmeting
- Actieve temperatuurcompensatie
Omschrijving
Betrouwbaar
De Ultra High Purity transducers uit de WUD-2x serie combineren geavanceerde transducerconcepten met analoge uitgangssignalen. Ze leveren dus de snelste en meest accurate drukmetingen die voor de marktbehoeften van tegenwoordig nodig zijn. Drukmeting, gebaseerd op een echte vacuümreferentie en elektronische metingen voor afscherming tegen storingen en annulering van signaalgeluid zorgt voor zeer nauwkeurige drukmeting en uitstekende langetermijnstabiliteit.
Actieve temperatuurcompensatie beperkt de invloed van veranderende temperaturen op de transducer, waardoor veilig gebruik mogelijk is, zelfs in toepassingen met grote temperatuurschommelingen, bijv. Joule-Thomson effect in het geval van gasuitzetting.
WUD-25 (doorstroom) en WUD-26 (opbouw) transducers zijn speciaal ontwikkeld om de vaak tijdens installatie optredende torsiegerelateerde spanningen te doorstaan. Het speciale ontwerp van de thin-filmsensor elimineert het risico van sensorstoring als gevolg van belastingen op de procesaansluiting of gelaste verbindingen.
Veelzijdig
De WUD-2x kan gemakkelijk worden geïnstalleerd in "on-tool" gasdistributiesystemen. Het heldere leddisplay is roteerbaar en eenvoudig te lezen vanuit elke positie. Via twee programmeerbare schakeluitgangen kunnen toepassingsspecifieke bewakings- en besturingsprocessen worden doorgevoerd.
Compact
Met zijn kleine voetafdruk is de WUD-2x de meest compacte UHP transducer op de markt. Hij is dus optimaal geschikt voor installatie in toepassingen met beperkte montageruimte, en zelfs in bestaande installaties kan hij eenvoudig achteraf worden aangebracht.